第三方半導體加工載具檢測機構北京中科光析科學技術研究所科研分析檢測中心可以進行前開式晶圓傳送盒(FOUP)、晶圓花籃(Cassette)、標準機械接口盒(SMIF)、光罩傳送盒(RSP)、晶舟(Boat)、熱處理承載器、清洗籃等20余項半導體加工載具檢測檢測。一般7-15天出具半導體加工載具檢測報告,中析研究所旗下實驗室擁有CMA檢測資質及CNAS檢測證書和ISO證書等榮譽資質.檢測領域廣泛。
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